Fabricante: EVG
Modelo: Lithoscale
Año de fabricación: 2023
Condición Nuevo-Nunca Usado
Configuración técnica:
• Para la exposición sin máscara de tamaños de oblea de hasta 300
mm
• Platina de alta precisión que incluye compensación de errores de
cuña sin contacto
• Autocalibración a través de sensores integrados
• Extensibilidad de hasta dos (2) cabezales de exposición en total
para un mayor rendimiento
• Unidad de control separada
• Software EVG CIM Framework
• U51258834 Autodiagnóstico durante el arranque de la máquina,
inicialización automática de todos los motores, interruptores de
posición final, sensores y neumáticos
• Inspección disponible bajo petición
• Controlado por PC